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硅片清洗机特点
1.采用-新流行环保水基清洗工艺——该设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求；
2.全封闭式结构，运行部件设计防止污染；
3.清洗机框架和烘干炉内均采用正压送风形式, 保持运行时的风流始终外溢；
4.清洗区域与维护区域隔离开，确保润滑油脂及运动磨损不会对清洗的产品产生二次；
5.有效保证工作室长期处于洁净状态,从而保证产品的洁净要求；
6.工位移载结构能-大限度地减少辅助运行时间，保正工艺参数实施的准确性。
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