微波等离子清洗机

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公司基本资料信息

微波等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统，可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理，也可以作为单片处理，系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含：大剂量离子注入后的光刻胶去除；干法刻蚀工艺的前处理或后处理；MEMS制造中的牺牲层去除。

微波等离子清洗机参数：

材质：石英玻璃

容积：6公升

腔体尺寸：直径150mm，深度260mm

腔体后部：铝

腔门：铝质材料制作，抽拉式支撑架跟前门相连，便于手动放片；

气体分布：前门扩散

观察视窗：防紫外及微波

支撑架：铝质材料，

真空连接：DN25 ISO-KF

压力控制：Pirani，1-100Pa

真空泵：推荐25m3/h

真空阀：电子气动阀，DN25 ISO-KF

真空密封：硅树脂

气体供应：

气体通道：1路数字MFC，装有电磁阀，500sccm（N2校准），1/4" Swagelok接头

卸压：电磁阀，1/4" Swagelok接头

功率：2.45GHz，50-600W连续可调

耦合：微波天线，铝质谐振器，腔体内无电极

系统控制：

PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)

7”触摸屏、图形用户界面

Windows Office兼容

存储处理数据和错误信息，处理数据输出

工艺参数图形曲线的监测

自动或手动操作

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