电子迁移率光谱仪长期数据稳定

　　特点

　　酸类和基底（胺类.氨以及氯化物）的高灵敏度检测

　　使用点.多点式.移动式监测应用的通用产品配置

　　体积小，可放在任何位置

　　以太网，RS-232,4-20毫安输出

　　优点

　　连续监测关键点

　　耐久可靠的数据收集.控制.分析

　　长期数据稳定性

　　每份测试成本

　　电子迁移率光谱仪应用

　　在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测

　　在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测

　　化学过滤器有效率的资格确认

　　遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除

　　前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析

　　电子迁移率光谱仪如有需要欢迎访问

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