技术参数:
型 号 VideoCheck-UA
测量范围(X轴) 400mm
(Y轴) 400mm
(Z轴) 200mm
最大允许测量误差1) (E1单轴精度) (0.15+L(mm)/900)μm
(E2平面精度) (0.50+L(mm)/600)μm
(E3空间精度) (0.75+L(mm)/500)μm
最大允许测量误差2) (E1单轴精度) (0.15+L(mm)/500)μm
(E2平面精度) (0.50+L(mm)/400)μm
(E3空间精度) (0.75+L(mm)/300)μm
分辨率 0.001μm
工作台承重 150kg(300kg可选)
定位速度 60mm/s
加速度 50mm/s2
频率 48-62Hz
气压 7-10 bar
功耗 2500VA
仪器重量 1000kg
精度保证环境条件1) 20℃±0.1 o Δ=0.1o/h
精度保证环境条件2) 20℃±1 o Δ=0.5 o/h
精度检定光学放大倍率 20
湿度 40-70rel.
空气指标 max.0.05mg/m3
适用温度 10-35℃