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所谓等离子体是继固体、气体、液体三态后，列为物质的第四态，由正离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。
等离子体按粒子温度可分为平衡态（电子温度=离子温度）与非平衡态（电子温度>>离子温度）两类。
非平衡态等离子体电子温度可上万度，离子及中性离子可低至室温，即体系表观温度仍很低，故称“低温等离子体”，一般由气体放电产生。
低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子体处理废气的原理为：
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。
等离子区工艺特点
1 高效的处理效果：低温等离子废气处理设备效率可以去除到90%
2 运行费用低：工业等离子废气净化设备采用专利的蜂窝电场、卧式结构，阻力小。减少了风机的阻力，降低了运行费用；设备本身采用先进的高压控制系统和高压电源，转换效率高，耗电低。
3 维护方便：需要定时清洗的部件为可拆卸的模块化组合，这样既方便设备日常的清洗维护，也有利于这些部件的维修替换。
4 可升级性：设备都采用标准法兰连接的组合式结构，使设备具有可升级性。模块化净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量 及净化率要求，单元数量可作适应性调整。
5 占地面积小：设备的电源和设备在一起，无需另建电源控制室，节省厂房面积。
6 运行的持续性：采用分组供电的方式；即使某一组电场放电或故障，其他组还可以正常工作，不影响设备的运行，保证设备运行的持续性。
7 设计周密：严密封闭的单元体，采用分组供电、分组控制，使用安全可靠。
8 安全性：设备配有防火网、防火阀、温度检测系统、消防灭火系统，确保设备安全稳定运行。
9 气流方向：卧式结构，用户安装的时候，风管、净化设备和抽风机可以方便地横向排列起来，方便布局，减少风阻；同时便于净化器均风，从而提高除气效率。
10 阴阳极距采用窄间距结构：单位体积里容纳了较大的阳极面积，体积小，除气效果好
11 设备的安装：设备较轻，无需特别的基础。主体设备在工厂安装调试好。安装成本低、时间短，容易达到设计效果
12 高压和低压控制